滑閥式真空泵主要由泵體及內(nèi)部作偏心轉(zhuǎn)動的滑閥、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等部分組成。泵體中裝有滑閥環(huán)，滑閥環(huán)內(nèi)裝有偏心輪，偏心輪固定在軸上，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環(huán)上裝有長方形的滑閥桿，它能在半圓形滑閥導(dǎo)軌中上下滑動及左右擺動，因此泵腔被滑閥環(huán)和滑閥桿分隔成a、b兩室。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，由于a、b兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進(jìn)入逐漸增大容積的吸氣腔;同時，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過排氣閥排出泵外。
雙級型的滑閥泵，實際上是由兩個單級泵串聯(lián)起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
滑閥式真空泵由于它的結(jié)構(gòu)特點，一般分為單級泵和雙級泵兩種，但也有有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式。隨著現(xiàn)今科技的發(fā)展，滑閥式機(jī)械真空泵也受到了較大的改革，它的使用也更加的使用與方便。進(jìn)一步研究它的工作原理對于之后相關(guān)方面技術(shù)的改進(jìn)和提升勢必有益。