從迅達真空泵了解到如果滑閥泵運轉(zhuǎn)時的振動和操音較大，泵的振動影響真空系統(tǒng)的穩(wěn)定，縮短泵的壽命，并對環(huán)境造成污染。所以研制出振動噪音小的滑閥泵對于提高泵的質(zhì)量、擴大泵的應(yīng)用有十分重要的意義。
滑閥泵的主要振動來自泵滑閥運動系統(tǒng)所產(chǎn)生的不平衡慣性力。解決的方法有以下幾個方面：
一、整體結(jié)構(gòu)方面
滑閥泵可設(shè)計成立式結(jié)構(gòu)或臥式結(jié)構(gòu)。從發(fā)展趨勢看，臥式(即傾斜式)結(jié)構(gòu)較合理。因為它具有結(jié)構(gòu)緊湊、重心低的特點，有利于減小振動。
二、動平衡
通常采用加平衡輪并在皮帶輪上加不平衡重量來對偏心輪和滑閥的慣性力進行平衡減振。對泵滑閥運動系統(tǒng)進行動力分析和試驗表明滑閥桿的運動是影響泵振動大小的非常重要的因素，如泵已加平衡輪后。立式H-150A型泵因滑閥桿運動所產(chǎn)生的振動值占總振動值的2/3；臥式H-150型泵則占9/10�？梢酝ㄟ^分析計算，然后在平衡輪上加配重的方法來平衡滑閥桿的慣性力。實踐證明，這種一種有效的減振方法。
三、采用機械減振裝置
對于高速泵和大泵，除采用平衡措施外，還可用機械減振的辦法來減小振動。例可用橡膠減振器，將減振器安裝在泵的底座上，靠橡膠來吸振。
四、泵缸數(shù)目的合理選擇與布置
滑閥泵有單缸、雙缸和三缸等結(jié)構(gòu)。對于單缸、雙缸和等長三缸等結(jié)構(gòu)的泵，均需在泵上另加平衡配重來平衡泵運轉(zhuǎn)中產(chǎn)生的慣性力與慣性力矩。而一種不等長三缸結(jié)構(gòu)則從結(jié)構(gòu)原理上鉸好地解決了滑閥泵的振動問題。
該結(jié)構(gòu)布置型式如圖所示。
中間是一個長缸，兩側(cè)各為等長的短缸a三組滑閥用一根公共軸同時驅(qū)動，中間一組滑閥長度及重量雙倍于左右兩組滑閥。泵運轉(zhuǎn)時，兩組短滑閥和中間長滑閥之間始終保持著180°的相位差。長滑閥產(chǎn)生的慣性力為F，短滑閥的慣性力為F/2，因此慣性力和慣性力矩大小相等方向相反，三組滑閥可以通過自身的結(jié)構(gòu)設(shè)置來保持力的平衡。使泵基本消除振動。
由于該結(jié)構(gòu)泵運轉(zhuǎn)振動很小，所以泵的轉(zhuǎn)速可以大大提高，從而可減少泵的體積和重量。例如，抽速為150L/S的三缸滑閥泵的重量要比普通型H-150泵減輕30%。迅達真空泵廠認(rèn)為這種結(jié)構(gòu)也為大抽速滑閥泵的開發(fā)創(chuàng)造了有利條件。